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Division KELLER
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Pyrometer CellaWafer PA 38

Artikelbeschreibung

Das CellaWafer PA 38 ist ein digitales Pyrometer zur Termperaturmessung von Wafern zwischen 450 und 1800 °C. Durch seine sehr kurzwellige und schmalbandige Messwellenlänge ist das Gerät besonders zur Messung von Silizium-Wafern in Anwendungen wie RTP (Rapid Thermal Processing) und Metallen (Wolfram, Molybdän, ...) geeignet und reagiert unempfindlich auf Emissionsgradänderungen des Messobjektes.

Besondere Merkmale:
  • Messbereich 450 bis 1800 °C
  • Fokussierbare Wechseloptiken zur exakten Einstellung der Messentfernung
  • Breitbandentspiegelte Präzisionsoptiken
  • Kurzwelliger und schmalbandiger Spektralbereich
  • Besonders geeignet für präzise Messungen an Metallen und an Silizium-Wafern
  • LED-Anzeige aus großer Entfernung ablesbar
  • Teststromausgang für Diagnosefunktion
  • Serienmäßig: Analogausgang und USB/RS 485-Schnittstelle


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Eigenschaften Videokamera

Pyrometer CellaWafer PA 38
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Ausführung CellaWafer PA 38 AF 10 
Messbereich 450 - 1800 °C 
Fokusabstand 0,3 m - ∞ 
Form des Messfeldes rund 
Distanzverhältnis 60 : 1 
Objektiv PA 20.08 
Messprinzip spektral 
Visiereinrichtung Durchblick-Visier 
Visiereinrichtung Laser-Pilotlicht 
Visiereinrichtung Video-Kamera