Pyrometer für die Halbleiterfertigung
Temperaturmessung in Epitaxie- und Wärmebehandlungsprozessen von Wafern
In der Halbleiterfertigung ist eine präzise und berührungslose Temperaturmessung essenziell für die Verarbeitung von Wafern, um höchste Produktqualität und Ausbeute sicherzustellen. Speziell entwickelte Pyrometer von KELLER ITS erfassen die Temperatur mit hoher Auflösung und kurzen Ansprechzeiten.
