Division KELLER
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Siemens Verfahren

Die Prozesstemperatur des Siemens Verfahrens zur Abscheidung von reinem Silizium kann mit Pyrometern gemessen werden

 

Industrial Solution Guide - Kristallzüchtung - Siemens Verfahren

Ihre Vorteile:
  • Ein Lichtleiter trennt Elektronik und Messkopf
  • Eine hochauflösende Optik ermöglicht die Temperaturmessung der zu Prozessbeginn dünnen Silizium-Stäbe

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