Temperaturmessystem für das Siemens Verfahren
Überwachung der Prozesstemperatur mittels Pyrometer
Beim Siemens Verfahren wird hochreines Polysilizium durch die Abscheidung aus der Gasphase auf beheizten Siliziumstäben erzeugt. Für eine gleichmäßige Abscheidung und Materialreinheit ist die Temperatur der Siliziumstäbe präzise zu überwachen. KELLER Pyrometer erfassen die Stabtemperatur zuverlässig.