RTP (Rapid Thermal Processing)
Pyrometer zur thermischen Bearbeitung von Wafern
Beim Rapid Thermal Processing (RTP) werden Wafer mithilfe intensiver Lampenstrahlung innerhalb kürzester Zeit aufgeheizt. Speziell auf das Halbleitermaterial und auf die verwendete Strahlungsquelle abgestimmte Pyrometer, ermöglichen eine zuverlässige berührungslose Temperaturüberwachung und eine präzise Prozessregelung.