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In der Halbleiterfertigung ist eine präzise und berührungslose Temperaturmessung essenziell für die Verarbeitung von Wafern, um höchste Produktqualität und Ausbeute sicherzustellen. Speziell entwickelte Pyrometer von KELLER ITS erfassen die Temperatur mit hoher Auflösung und kurzen Ansprechzeiten.














