Pyrometer trong ngành công nghiệp bán dẫn

Ngành công nghiệp bán dẫn là một thị trường đang phát triển nhanh chóng với các yêu cầu ngày càng cao về hiệu suất và chi phí sản xuất của các sản phẩm như tế bào quang điện, vi mạch, đèn LED và laser. Chuỗi quy trình sản xuất các sản phẩm này bao gồm việc thu được một chất nền bán dẫn tinh khiết với mạng tinh thể càng ít khuyết tật càng tốt và tiếp tục xử lý chất nền này. Quá trình xử lý tiếp theo bao gồm xử lý nhiệt và phủ lớp phủ lên các tấm wafer.

Nhiệt độ quá trình là một yếu tố quyết định trong sản xuất bán dẫn. Trong quá trình nuôi cấy tinh thể và xử lý wafer, các phạm vi nhiệt độ cụ thể phải được tuân thủ nghiêm ngặt để tránh các khuyết tật và đạt được năng suất cao. Do đó, việc đo nhiệt độ trong thời gian thực là rất quan trọng. Đo nhiệt độ quang học bằng pyrometer là phương pháp lý tưởng để xác định nhiệt độ quá trình chính xác từ bức xạ hồng ngoại của chất bán dẫn một cách nhanh chóng và không cần tiếp xúc. Các nhiệm vụ đo lường phức tạp và đa dạng đòi hỏi các giải pháp pyrometer được điều chỉnh tối ưu.