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インダストリアルソリューションガイド - 結晶成長 - マルチ結晶シリコン

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  • シリコン(Si)用の特別なキャリブレーションにより、動作温度における非常に高い測定精度を実現 - 内蔵ビデオカメラまたはレンズを通した照準による正確な位置合わせ

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