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La División KELLER
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RTP (procesamiento térmico rápido)

El procesamiento térmico rápido de obleas requiere la medición de la temperatura con pirómetros adaptados al material semiconductor y a la fuente de radiación

 

Guía de Soluciones Industriales - Fabricación de semiconductores - Proceso RTP (proceso térmico rápido)

Sus ventajas:
  • Gama especial de longitudes de onda para medir el material semiconductor de la oblea
  • Óptica potente para medir bajas temperaturas

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