El procesamiento térmico rápido de obleas requiere la medición de la temperatura con pirómetros adaptados al material semiconductor y a la fuente de radiación
Guía de Soluciones Industriales - Fabricación de semiconductores - Proceso RTP (proceso térmico rápido)
Sus ventajas:
Gama especial de longitudes de onda para medir el material semiconductor de la oblea