Polovodičový průmysl je rychle rostoucím trhem s rostoucími nároky na výkon a výrobní náklady svých výrobků, jako jsou fotovoltaické články, mikročipy, LED diody a lasery. Procesní řetězce pro výrobu těchto výrobků zahrnují získání čistého polovodičového substrátu s co nejbezchybnější krystalovou mřížkou a jeho další zpracování. Toto další zpracování zahrnuje tepelnou úpravu a potahování destiček.
. Rozhodujícím faktorem při výrobě polovodičů je procesní teplota. Při pěstování krystalů a zpracování destiček je třeba dodržovat určitá teplotní rozmezí, aby se zabránilo vzniku defektů, a tím se dosáhlo vysokého výtěžku. Měření teploty v reálném čase má proto zásadní význam. Optické měření teploty pomocí pyrometrů je ideální metodou pro rychlé a bezkontaktní určení přesné procesní teploty z infračerveného záření polovodičů. Náročné a různorodé měřicí úlohy vyžadují optimálně přizpůsobená pyrometrická řešení.
Pyrometry v polovodičovém průmyslu
Zpráva o aplikaci bezkontaktního měření teploty při pěstování krystalů a zpracování destiček
Aplikační zpráva polovodičový průmysl
Funkce
- Velmi velké rozpětí měření díky hybridnímu zpracování signálu s trvale vysokým rozlišením signálu v celém měřicím rozsahu.
- Širokopásmová přesná optika s antireflexní vrstvou pro vysoké optické rozlišení
- Speciální kalibrace při procesní teplotě
- Extrémně vysoká dlouhodobá stabilita díky senzorům bez driftu založeným na technologii konstantního světla
Žádostzpráva Semiconductor industry
