Пирометры в полупроводниковой промышленности

Полупроводниковая промышленность - это быстрорастущий рынок с растущими требованиями к производительности и себестоимости продукции, такой как фотоэлектрические элементы, микрочипы, светодиоды и лазеры. Технологические цепочки производства этих изделий включают в себя получение чистой полупроводниковой подложки с максимально безупречной кристаллической решеткой и ее дальнейшую обработку. Эта дальнейшая обработка включает в себя термическую обработку и нанесение покрытия на пластины.

Температура процесса является решающим фактором в производстве полупроводников. Во время выращивания кристаллов и обработки пластин необходимо соблюдать определенные температурные диапазоны, чтобы избежать дефектов и тем самым достичь высокого выхода продукции. Поэтому измерение температуры в реальном времени имеет решающее значение. Оптическое измерение температуры с помощью пирометров - идеальный метод для быстрого и бесконтактного определения точной температуры процесса по инфракрасному излучению полупроводников. Сложные и разнообразные измерительные задачи требуют оптимально подобранных решений для пирометров.