PLD-Prozesse

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Fragebogen PLD-Prozesse

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Fragebogen PLD-Prozesse

	Kundendaten
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Land*
Kontaktperson*
Telefon
E-Mail*

	Industrie
In welcher Industriebranche soll das Pyrometer eingesetzt werden?

	Anwendung
Beschreibung der Messung Bitte schicken Sie nach Möglichkeit Bilder oder Zeichnungen an its@keller.de oder per Fax an +49 (0) 5451 85412

	Abmessungen der Messaufgabe
Welche Temperatur möchten Sie messen?	Substrat (1) Target (2)
Abstand zwischen Pyrometer und Sichtfenster in mm (a)
Abstand zwischen Rohröffnung und Öffnung der Vakuumkammer in mm (b)
Abstand zwischen der Öffnung der Vakuumkammer und dem Substrat in mm (c)
Durchmesser des Sichtfensters in mm (d1)
Durchmesser des Sichtrohrs in mm (d2)
Sichtwinkel in ° (ɑ)

	Substrat
Material
Temperatur (von/bis in °C)
Dicke (von/bis in mm)

	Target (Abscheidungsmaterial)
Material
Prozess der Verdampfung	Elektronenstrahl Laser
Anderer Prozess der Verdampfung
Temperatur (von/bis in °C)
Größe des Targets in mm
	Halterung

Material
Ist es abgekühlt?	Ja Nein
Temperatur in °C

	Wärmequelle
	Laser Plasma Induktion Mikrowellen Flammen
Andere Wärmequelle
Wenn Laser, bitte Wellenlänge angeben
Wenn Plasma, bitte Art der Gase angeben

	Informationen zum Projekt
Wie lange dauert der Beschichtungsprozess
Angabe der Dauer in	Stunden Tage
Wachstumsgeschwindigkeit
Bewegt sich das Messobjekt?	Ja Nein
Ist das Objekt permanent sichtbar?	Ja Nein
Wie wird bislang die Temperatur gemessen?	gar nicht Thermoelement Pyrometer
Andere Messtechnik
Umgebungstemperatur des Pyrometers in °C
Material des Sichtfensters?	Quarz Saphir Borosilikat
Anderes Material des Sichtfensters

	Spezifikation des Gerätes
Art des Pyrometers	tragbar stationär
Visiereinrichtung	Durchblickvisier Videokamera Laserpilotlicht

	Signalverarbeitung
Ausgangssignal / Digitale Schnittstelle	0/4 - 20 mA RS 485 USB IO-Link
Andere digitale Schnittstelle
Sollen die Messwerte aufgezeichnet werden?	Ja Nein
Ist eine zentrale Datenerfassung vorhanden?	Ja Nein

Zusätzliche Details oder Beschreibung
	Einwilligung zur Nutzung meiner Daten* Ich stimme zu, dass meine Angaben aus dem Kontaktformular zur Beantwortung meiner Anfrage erhoben und verarbeitet werden. Die Daten werden nach abgeschlossener Bearbeitung Ihrer Anfrage gelöscht. Hinweis: Sie können Ihre Einwilligung jederzeit für die Zukunft per E-Mail an its@keller.de widerrufen. Detaillierte Informationen zum Umgang mit Nutzerdaten finden Sie in unserer Datenschutzerklärung.

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Fragebogen zur Temperaturmessung bei PLD-Prozessen