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Industrie
In welcher Industriebranche soll das Pyrometer eingesetzt werden?  
  
Anwendung
Beschreibung der Messung

Bitte schicken Sie nach Möglichkeit Bilder oder Zeichnungen an
its@keller.de
oder per Fax an
+49 (0) 5451 85412
  
  
Abmessungen der Messaufgabe
Welche Temperatur möchten Sie messen?  

Abstand zwischen Pyrometer und Sichtfenster in mm (a)  
Abstand zwischen Rohröffnung und Öffnung der Vakuumkammer in mm (b)  
Abstand zwischen der Öffnung der Vakuumkammer und dem Substrat in mm (c)  
Durchmesser des Sichtfensters in mm (d1)  
Durchmesser des Sichtrohrs in mm (d2)  
Sichtwinkel in ° (ɑ)  
  
Substrat
Material  
Temperatur (von/bis in °C)  
Dicke (von/bis in mm)  
  
Target (Abscheidungsmaterial)
Material  
Prozess der Verdampfung  

Anderer Prozess der Verdampfung  
Temperatur (von/bis in °C)  
Größe des Targets in mm  
  
Halterung
Material  
Ist es abgekühlt?     
Temperatur in °C  
  
Wärmequelle
  




Andere Wärmequelle  
Wenn Laser, bitte Wellenlänge angeben  
Wenn Plasma, bitte Art der Gase angeben  
  
Informationen zum Projekt
Wie lange dauert der Beschichtungsprozess  
Angabe der Dauer in     
Wachstumsgeschwindigkeit  
Bewegt sich das Messobjekt?     
Ist das Objekt permanent sichtbar?     
Wie wird bislang die Temperatur gemessen?  


Andere Messtechnik  
Umgebungstemperatur des Pyrometers in °C  
Material des Sichtfensters?  


Anderes Material des Sichtfensters  
  
Spezifikation des Gerätes
Art des Pyrometers  

Visiereinrichtung  


  
Signalverarbeitung
Ausgangssignal / Digitale Schnittstelle  



Andere digitale Schnittstelle  
Sollen die Messwerte aufgezeichnet werden?     
Ist eine zentrale Datenerfassung vorhanden?     
Zusätzliche Details oder Beschreibung  




Anfrage

Fragebogen zur Temperaturmessung bei PLD-Prozessen

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Füllen Sie bitte dieses Formular aus, damit wir für Sie das optimale Messsystem für Ihre spezifischen Anforderungen auswählen können.
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